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  SPSD180 x SD150-Stage는 최대 20 Kg의 부하 조건에서 사용 할 수 있으며, 편측식 또는 양측식 리니어 모터로 구동되는 정밀 위치 제어용 스테이지이며, 비 접촉 고성능 리니어 모터와 '최대 0.1 micron' 분해능까지 피드백 가능합니다.
 
Model SPSD180SxSD150-0202S
Axis X Axis (Lower) Y Axis (Upper)
Travel (Range) 200 mm (100 mm ~ 3,500 mm) 200 mm (100 mm ~ 200 mm)
Pay Load (Maximum) 5 Kg (20Kg)
Resolution 0.1 ~ 1.0 μm countr
Mean Position Accuracy (1) ± 10 μm per 300 mm
Bi-directional Repeatability ± 1 μm / full travel (with resolution 0.5 μm or better)
Flatness / Straightness ± 10 μm per 300 mm
Orthogonality ± 10 arc-sec (X to Y)
Maximum Velocity 100 ~ 2,500 mm/sec
Maximum Acceleration 0.5 G
Note : 1. Before Error Mapping.
  * 상기 Spec은 200 mm x 200 mm Travel을 구성한 예로써 Travel 및 정밀도의 변경 등 Option 대응이 가능합니다.
  * 상기 사양은 각 축별 기준이며, Slide 중심의 상부 25 mm 조건에서 Test한 결과입니다.
 
 
 
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